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Standard Promotion
碳化硅外延层深能级缺陷的测试 瞬态电容法
报送单位:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟 时间:2025/3/13 16:58:51
标准范围:
主要技术范围:本文件规定了用瞬态电容技术中的深能级瞬态谱法测量碳化硅(SiC)外延材料中深能级缺陷的方法。 本文件适用于测量碳化硅外延材料层中的杂质、缺陷在半导体禁带中产生的深能级。此方法可得到深能级的激活能、浓度、俘获截面等参数。
对外合作需求:1.联合举办标准推广沙龙、研讨会等活动; 2.对接国际国内标准相关组织; 3.申请转化为国家标准
服务对象:科技型企业、科技工作者
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
2025年03月13日
碳化硅外延层深能级缺陷的测试 瞬态电容法的发布公告.pdf
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